신주 2025년 6월 17일 /PRNewswire/ -- 전문 반도체 장비 공급업체 스파이록스 코퍼레이션(Spirox Corporation, TWSE:3055)이 업계 최초로 SpiroxLTS(Spirox Laser Tomography Scanning) 기술을 선보였다. 다수의 비선형 광학 통합 특허 기술을 결합한 이 혁신 솔루션은 TGV(Through Glass Vias) 내부의 레이저 개질 단면에 대한 비파괴•무접촉•무손상 직접 이미징을 가능하게 한다. SpiroxLTS는 레이저 개질 효과에 대한 정확한 통찰력을 제공하며, 유리 내부의 개질 연속성과 균일성을 완전히 시각화해 공정 품질이 엄격한 설계 요구사항을 충족하도록 보장한다. 이 혁신 기술은 TGV 제조 과정의 파라미터 제어에 획기적 발전을 가져오고 TGV 제조업체의 대량 생산 일정 단축에 기여할 것으로 기대된다.

Spirox SP8000G features the industry’s first Spirox Laser Tomography Scanning (SpiroxLTS) technology, enabling non-destructive and precise analysis of TGV laser modification performance.