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2026.07.03 07:46:14 update

ERS electronic, AC3 Fusion 서멀 척 시스템 발표

2022.04.22 22:09:00

-- 웨이퍼 탐침 온도 시험 위한 다용도 및 지속가능한 솔루션

뮌헨, 2022년 4월 22일 /PRNewswire/ -- 반도체 제조용 열 관리 솔루션 시장의 선도기업인 ERS electronic[http://www.ers-gmbh.com/ ]이 유명한 AC3 서멀 척 시스템(Thermal chuck system)인 'Fusion'의 확장 모델을 출시한다. 이 시스템에는 설정 가능한 세 가지 현장 기본 모드(각 모드는 구체적인 시험 요건을 충족하도록 최적화)와 사용자가 핵심 매개변수를 정의할 수 있는 Fusion 모드를 갖춘 새로운 고성능 냉각 장치가 탑재됐다. AC3 Fusion 서멀 척 시스템은 이와 같은 모드를 바탕으로 에너지 효율적이고 유연한 3가지 온도 웨이퍼 시험을 지원하는 비타협적 솔루션이다.

The AC3 Fusion chiller series comes with a new white appearance

PR Newswire

idailynews@naver.com

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